激光直写
发布时间：2025-06-09
设备名称：激光直写
厂家型号：海德堡 DWL4000
工艺类别：光刻
主要用途：DWL4000激光光刻系统是快速及高灵活性的高分辨率图型产生器，用于制作掩膜版和可直接于产品上进行激光直写。除了高分辨率的二维图型之外，还提供灰度曝光模式，可在厚光刻胶中创建复杂的2.5D结构。应用领域包括：MEMS、BioMEMS，微光学、集成电路(ASIC)、微流体、传感器。
技术指标：
1. 最小特征尺寸：1um；边缘粗糙度：50nm；线宽均匀性：70nm
2. 基板尺寸：10*10mm-17*17寸；写入区域：400*400mm
收费标准：2500元/小时 (1小时起约)
苏公网安备 32059002003194号